Navigatie overslaan

TONiC™ UHV incrementeel encodersysteem met RKLC20-S lineaire meetschaal

Kenmerken

  • Leeskopgrootte: 35 x 13,5 x 10 mm
  • Resoluties tot 1 nm
  • Snelheid tot 10 m/s
  • Analoge of digitale uitgangen
  • Ultralage interpolatiefout (SDE): typisch < ± 30 nm
  • Door klant selecteerbare optische IN-TRAC™ referentiemarkering

Voordelen

  • Ultra Hoog Vacuüm (UHV)
  • Smalle 6 mm brede meetschaal geschikt voor toepassingen met krappe ruimte
  • Aan de ondergrond verbonden meetschaal voor betere metrologische prestaties
  • Supercompacte encoder met dynamische signaalconditionering voor een betere motion control
  • Gemakkelijk op lengte te knippen
  • Hoge bestendigheid tegen vuil en oplosmiddelen
Transparante patch voor websitebanners

Wat is TONiC UHV?

TONiC UHV brengt het supercompacte contactloze encodersysteem van Renishaw naar toepassingen met ultrahoog vacuüm, waar het klanten betere bewegingsbesturing levert.

De TONiC biedt snelheden tot 10 m/s en, indien gecombineerd met de Ti interface, resoluties tot slechts 1 nm voor zowel lineaire als roterende toepassingen. TONiC systemen zijn snel en eenvoudig te installeren met een brede set-up -tolerantie en kalibratie met één druk op de knop. TONiCs dynamische signaalverwerking biedt verbeterde signaalstabiliteit met een ultralage interpolatiefout van typisch < ± 30 nm voor superieure motion-control prestaties.

Wat is een RKLC20-S meetschaal?

De RKLC20-S is een smalle en platte roestvaststalen flexibele meetschaal met een incrementele schaalverdeling met 20 µm pitch en door de klant te selecteren IN-TRAC referentiemarkeringen. Hij is nauwkeurig tot ± 5 µm/m en is er in lengtes tot 20 meter (> 20 meter op aanvraag). De RKLC20-S wordt bevestigd op een machine-ondergrond, wat betere metrologische prestaties geeft wanneer de schaaluiteinden stevig vastgezet zijn op de ondergrond.

Waarom dit encodersysteem kiezen?

Ultra Hoog Vacuüm (UHV)

TONiC UHV leeskoppen hebben de uitstekende prestaties van de standaard TONiC en gebruiken die in een leeskop die is ontworpen en gebouwd met materialen en processen die geschikt zijn voor UHV en de leeskop inzetbaar maken in UHV-omstandigheden tot 10 -10 Torr.

De reeks TONiC UHV encoders en accessoires is gemaakt van vacuüm-compatibele materialen en kleefstoffen voor lage ontgassing en bewezen schone restgas-analyse (RGA), waardoor ze geschikt zijn voor vele toepassingen, waaronder wafer transportsystemen/ testen, wetenschappelijke instrumenten, spectroscopie, vacuümcontrole-apparatuur en veel meer.

Ultieme betrouwbaarheid en prestaties in een compact formaat

Voor ultieme betrouwbaarheid, consistente werking en hoge vuilbestendigheid bevatten de TONiC leeskoppen filteroptica van de derde generatie, afgestemd op nog lagere ruis (jitter) en nu ook uitgebreid met dynamische signaalverwerking waaronder automatisch gestuurde versterking en afstelling. Deze combinatie - geheel ondergebracht in de leeskop - levert signalen van ongeëvenaarde zuiverheid met een ultralage interpolatiefout van doorgaans ± 30 nm. Dat resulteert in een soepelere snelheidsregeling en dus een betere scankwaliteit en hogere positiestabiliteit; essentiële parameters voor vele toepassingen in een compacte leeskop.

Smalle, robuuste en veelzijdige meetschaal

De RKLC is een robuuste roestvaststalen flexibele meetschaal voor encoders, met een breedte van 6 mm en een dikte van 0,15 mm. Hierdoor kan de meetschaal door stevige bevestiging op een machineas zodanig 'verbonden’ worden met de machine-ondergrond dat hij dezelfde thermische uitzettingscoëfficiënt en hetzelfde thermisch gedrag krijgt. Bewegingsverschillen tussen de meetschaal en de machine worden zo geminimaliseerd.

Indexposities komen van de IN-TRAC optische referentiemarkeringen die direct opgenomen worden in de incrementele schaalverdeling om auto-fasering mogelijk te maken. Door dit compacte meetschaalontwerp wordt het gemakkelijker om encoders te installeren in toepassingen met beperkte ruimte. Verder combineert de RKLC flexibele meetschaal een nauwkeurigheid van ±5 µm/m met de mechanische en chemische robuustheid van roestvast staal en het gemakkelijk oprollen en op lengte knippen.

Mogelijkheden voor interface

TD (dual resolutie) interface

  • Selecteerbare dual-resolutie kwadratuuruitgang. Ti-interface (vierkant)
  • Ideaal voor toepassingen die een hoge snelheidsbeweging nodig hebben in combinatie met fijnere precisiebeweging.

DOP (dual output) interface

  • Biedt gelijktijdige digitale kwadratuur en 1Vpp-signalen.
  • Ontworpen voor toepassingen waarbij een of meer bewerkingen moeten worden gesynchroniseerd met een bewegingsas.TONiC Dual Output (DOP) interface

TONiC diagnostische kit

TONiC™ diagnoseset (software en hardware)

Met de TONiC diagnostische software is de installatie van TONiC encoders te optimaliseren en een snelle maar uitgebreide systeemkalibratie uit te voeren. De software wordt gebruikt in combinatie met de TONiC diagnostische hardware, die onder artikelnummer A-9411-0011 te koop is bij Renishaw. De hardware wordt op de pc aangesloten met een USB-kabel (inbegrepen in de set) of opgenomen in de elektronica van de klant.

Ontdek alles over de TONIC diagnoseset.

Technische specificaties

Meetstandaard

Smalle roestvaststalen flexibele meetschaal met zelfklevende achterkant, voor montage direct op een ondergrond

Leeskopgrootte (LxBxH)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Schaalpitch

20 μm

Thermische uitzettingscoëfficiënt

Afgestemd op ondergrondmateriaal als meetschaaluiteinden stevig vastgezet zijn op de ondergrond.

Nauwkeurigheidsgraad bij 20°C

±5 μm/m

Referentiemarkering

IN-TRAC referentiemarkeringen direct ingebed in de RKLC-S

Keuzemagneet gebruikt om gekozen referentiemarkeringen te identificeren

Limietschakelaars

Dubbele of enkele limieten (selecteren bij bestelling)

Schaallengte

Tot 20 m (> 20 m op aanvraag)

Schaalvorm (H x B)0,15 mm x 6 mm inclusief kleeflaag

Maximale snelheid

Analoog

Digitaal

(Zie datablad voor details)

Tot 10 m/s bij -3 dB

Tot 10 m/s

Interpolatiefout (SDE)

Typisch <±30 nm

Dynamische signaalcontrole

Real-time signaalconditionering, waaronder automatisch gestuurde versterking (Auto Gain Control) en afstelling (Auto Offset Control) voor optimale prestaties tijdens de werking

Incrementele signalen

Analoog

Digitaal


1 Vpp (20 μm periode)

Resoluties van 5 µm tot 1 nm

Elektrische aansluiting

0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m en 10 m kabellengtes met mini-connector (directe verbinding met TONiC interface)

Voedingsspanning

5 V ± 10%, < 100 mA (analoog systeem), < 200 mA (digitale systemen) (onafgesloten)

Trilling (operationeel)

100 m/s2 max @ 55 Hz tot 2000 Hz

Schok (niet-operationeel)

500 m/s2, 11 ms, ½ sinus, 3 assen

Werktemperatuur (systeem)

0 °C tot +70 °C

Reinigingstemperatuur (niet-operationeel)120°C (Alleen leeskop en schaal)

Afdichting

Leeskop: IP20

Interface: IP20

KabelconstructieVertind koper gevlochten enkel scherm, FEP kernisolatie

Zie de databladen voor alle gegevens.