Navigatie overslaan

TONiC™ UHV incrementeel encodersysteem met RELM20 lineaire meetschaal

Kenmerken

  • Leeskopgrootte: 35 x 13,5 x 10 mm
  • Resoluties tot 1 nm
  • Snelheid tot 10 m/s
  • Analoge of digitale uitgangen
  • Ultralage interpolatiefout (SDE): typisch < ± 30 nm
  • Optisch IN-TRAC™ referentiemarkering

Voordelen

  • Ultra Hoog Vacuüm (UHV)
  • Uitermate nauwkeurig gecombineerd met bijna 'nul' thermische expansie.
  • Supercompacte encoder met dynamische signaalconditionering voor een betere motion control
  • Diagnostische set als hulp bij uitdagende installaties en systeemoptimalisering
Transparante patch voor websitebanners

Wat is TONiC UHV?

TONiC UHV brengt het supercompacte contactloze encodersysteem van Renishaw naar toepassingen met ultrahoog vacuüm, waar het klanten betere bewegingsbesturing levert.
TONiC biedt snelheden tot 10 m/s en, in combinatie met de Ti interface, resoluties tot 1 nm voor zowel lineaire als roterende toepassingen. TONiC systemen zijn snel en eenvoudig te installeren met een brede set-up -tolerantie en kalibratie met één druk op de knop. De dynamische signaalverwerking van de TONiC levert een verbeterde signaalstabiliteit met een ultralage interpolatiefout van gewoonlijk < ± 30 nm die bijdraagt aan superieure besturing van bewegingen.

Wat is een RELM20 meetschaal?

De RELM20 is een meetschaal vervaardigd uit ZeroMet™, een nikkel-ijzerlegering die weinig uitzet, en met een 20 µm pitch.
Hij is vergelijkbaar met fijne glazen meetschalen en biedt een totale nauwkeurigheid (inclusief helling en lineariteit) van beter dan ± 1 µm over een lengte van 1,5 m. ZeroMet heeft een thermische uitzettingscoëfficiënt van 0,75 ±0,35 µm/m°C bij 20 °C.
Systeemontwerpers kunnen voor de montage kiezen tussen de speciale voor UHV geschikte zelfklevende achterzijde of mechanische klemmen. Beide montagemethodes zorgen voor onafhankelijke thermische uitzetting van het substraat.

Waarom dit encodersysteem kiezen?

Ultra Hoog Vacuüm (UHV)

TONiC UHV leeskoppen gebruiken de standaard uitstekende prestaties van TONiC en plaatsen het in een leeskop die is ontworpen en gebouwd met UHV compatibele materialen en processen waardoor ze geschikt zijn voor UHV omstandigheden tot 10 -10 Torr.
De reeks TONiC UHV encoders en accessoires is gemaakt van vacuüm-compatibele materialen en kleefstoffen voor lage ontgassing en bewezen schone restgas-analyse (RGA), waardoor ze geschikt zijn voor vele toepassingen, waaronder wafer transportsystemen/ testen, wetenschappelijke instrumenten, spectroscopie, vacuümcontrole-apparatuur en veel meer.

Gebruiksgemak

De RELM20 ZeroMet meetschaal met lage thermische uitzetting heeft een veel kleinere dwarsdoorsnede dan de meeste glazen schalen. Hij biedt meer gebruiksgemak en is te installeren zonder risico op breuk, en is dus ideaal voor de meest veeleisende precisietoepassingen.

Ultieme betrouwbaarheid en prestaties in een compact formaat

Voor ultieme betrouwbaarheid en consistente prestaties bevatten de TONiC leeskoppen filteroptica van de derde generatie, afgestemd op nog lagere ruis (jitter) en nu ook uitgebreid met dynamische signaalverwerking waaronder automatisch gestuurde versterking en afstelling. Deze combinatie - geheel ondergebracht in de leeskop - levert signalen van ongeëvenaarde zuiverheid met een ultralage interpolatiefout van slechts ±30 nm. Het resultaat is soepelere snelheidsregeling voor betere scanprestaties, verhoogde positionele stabiliteit wat weer de warmteontwikkeling in motoren binnen het vacuüm helpt te minimaliseren; essentiële parameters voor vacuümtoepassingen allemaal in een compacte leeskop.

Snellere en gemakkelijke installatie

Een set-up LED aan de leeskop geeft een visuele indicatie van het signaalformaat en een optionele diagnostische kit maakt remote controle van de systeemprestaties mogelijk als de leeskop in de machine is geïnstalleerd. Kalibratie van de referentiemarkering en incrementele signalen wordt gedaan met een druk op de knop zonder mechanische aanpassingen of extra diagnostische instrumenten. De IN-TRAC door de klant selecteerbare optische referentiemarkering wordt ingebed in de incrementele schaal voor compacte afmetingen en eenvoudige aanpassing. Dit zorgt voor een referentiemarkeringsoutput die bi-directioneel herhaalbaar is naar eenheid van de resolutie over het volledige bereik van de bedrijfstemperatuur en het toerental.

Mogelijkheden voor interface

TD (dual resolutie) interface

  • Selecteerbare dual-resolutie kwadratuuruitgang. Ti-interface (vierkant)
  • Ideaal voor toepassingen die een hoge snelheidsbeweging nodig hebben in combinatie met fijnere precisiebeweging.

DOP (dual output) interface

  • Biedt gelijktijdige digitale kwadratuur en 1Vpp-signalen.
  • Ontworpen voor toepassingen waarbij een of meer bewerkingen moeten worden gesynchroniseerd met een bewegingsas.TONiC Dual Output (DOP) interface

TONiC diagnostische kit

TONiC™ diagnoseset (software en hardware)

Met de TONiC diagnostische software is de installatie van TONiC encoders te optimaliseren en een snelle maar uitgebreide systeemkalibratie uit te voeren. De software wordt gebruikt in combinatie met de TONiC diagnostische hardware, die onder artikelnummer A-9411-0011 te koop is bij Renishaw. De hardware wordt op de pc aangesloten met een USB-kabel (inbegrepen in de set) of opgenomen in de elektronica van de klant.

Ontdek alles over de TONIC diagnoseset.

Technische specificaties

Meetstandaard

RELM20: zeer nauwkeurige ZeroMet starre meetschaal met referentiemarkering in het midden

Ook leverbaar met referentiemarkering aan het einde als RELE20

Leeskopgrootte (LxBxH)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Schaalpitch

20 μm

Thermische uitzettingscoëfficiënt bij 20 °C

0,75 ±0,35 µm/m°C

Nauwkeurigheidsgraad bij 20°C

Gecertificeerd tot ±1 μm, kalibratie herleidbaar naar internationale normen

Referentiemarkering

IN-TRAC referentiemarkering

Diverse positie-opties voor referentiemarkering, zie informatieblad voor meer details

Limietschakelaars

Dubbele of enkele limieten (selecteren bij bestelling)

Schaallengte

20 mm tot 1,5 m

Maximale snelheid

Analoog

Digitaal

(Zie datablad voor details)

Tot 10 m/s bij -3 dB

Tot 10 m/s

Interpolatiefout (SDE)

Typisch <±30 nm

Dynamische signaalcontrole

Real-time signaalconditionering, waaronder automatisch gestuurde versterking (Auto Gain Control) en afstelling (Auto Offset Control) voor optimale prestaties tijdens de werking

Incrementele signalen

Analoog

Digitaal


1 Vpp (20 μm periode)

Resoluties van 5 µm tot 1 nm

Elektrische aansluiting

0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m en 10 m kabellengtes met mini-connector (directe verbinding met TONiC interface)

Voedingsspanning

5 V ± 10%, < 100 mA (analoog systeem), < 200 mA (digitale systemen) (onafgesloten)

Stroomopname leeskop< 100 mA

Trilling (operationeel)

100 m/s2 max bij 55 Hz tot 2 000 Hz

Schok (niet-operationeel)

1000 m/s2, 6 ms, ½ sinus

Werktemperatuur (systeem)

0 °C tot +70 °C

Reinigingstemperatuur (niet-operationeel)

120°C (Alleen leeskop en schaal)

Afdichting

Leeskop: IP20

Interface: IP20

Kabelconstructie

Vertind koper gevlochten enkel scherm, FEP kernisolatie

Zie de databladen voor alle gegevens.