Navigatie overslaan

Toepassingen van laserencoders

Glasvezel laserencoders - Halfgeleiders

Gegevens van de toepassing

De halfgeleiderindustrie staat bekend om zijn snelle ontwikkelcycli om kleinere chips te produceren in minder tijd en tegen lagere kosten. Een element van het behalen van deze doelen is zeer efficiënte productieprocessen leveren die uitzonderlijke kwaliteitsniveaus volhouden.

Laserencodersystemen worden in de halfgeleidersector veel gebruikt om te helpen deze doelen te behalen, door ultieme nauwkeurigheid te bieden voor de belangrijkste productie- en inspectieprocessen.

Voordelen van de toepassing

Belangrijkste eisenRenishaws oplossing
Nauwkeurigheid op nanometerniveauDe RLD10-X3-DI differentiële interferometermeetkop maakt directe meting tussen de kolom en de tafel mogelijk of toepassingen in vacuüm.
Herhaalbaarheid binnen de nanometerDe Renishaw RLU20 biedt een buitengewoon stabiele laserfrequentie en levert daarmee ultieme herhaalbaarheid in vacuümtoepassingen.
Resoluties binnen de picometer

Met de Renishaw RPI20 is het mogelijk om resoluties tot 38,6 pm te bereiken in een 36-bits parallelformaat.

Ervaring

Laserencoder- of verplaatsingsinterferometersystemen worden al jaren ingezet in de halfgeleidersector. Renishaw levert sinds 2005 laserencoderoplossingen aan OEM's voor de halfgeleidersector en heeft in die branche een aantoonbare historie van samenwerken met en ondersteunen van fabrikanten.




RLD10 differential interferometer detector head, Raith application

Glasvezel laserencoders - Synchrotron

Gegevens van de toepassing

Synchrotrons zijn een bepaalde soort deeltjesversnellers die bij wetenschappelijk onderzoek gebruikt worden voor diverse experimenten. Elk van deze experimenten kent zijn specifieke uitdagingen, zoals zeer precieze bewegingsbesturing, trillingsanalyse of het meten van verloop. Laserencoders of verplaatsingssensoren worden afhankelijk van de vereisten ingezet bij zulke experimenten.

Voordelen van de toepassing

Belangrijkste eisenRenishaws oplossing
Gemakkelijk installeren en uitlijnenRenishaw RLD's zijn voorzien van optieken voor bundelsturing, die samen met de lasereenheid met glasvezel resulteren in een eenvoudig in te stellen en uit te lijnen systeem.
Bijwerken op hoge snelheidMet de RSU10 USB-interface is een bijwerksnelheid mogelijk van 50 kHz, in combinatie met een standaard Renishaw softwarepakket of met een maatwerkoplossing op basis van het gratis verkrijgbare SDK.
Kennis delen en samenwerken met partnersBegrijpen en vaststellen wat er gemeten moet worden is vaak de eerste uitdaging, en Renishaw heeft veel historie in partnerschappen aangaan met klanten om hun van de beste oplossing te voorzien.

Ervaring

Synchrotrons bevinden zich in de hele wereld en zijn verkrijgbaar in verschillende afmetingen. Renishaw is in de gelegenheid geweest om samen te werken met enkele van deze instituten om een praktische en haalbare oplossing te ontwikkelen, die vaak de initiële eisen ruim overtrof.

RLE ISARA application

Glasvezel laserencoders - XY-tafels

Gegevens van de toepassing

XY-tafels worden gebruikt in een enorme variëteit aan toepassingen, van massaproductie tot en met test- en onderzoeksapparatuur. XY-tafels hebben vaak te lijden onder de effecten van Abbé-fouten. Dit zijn hoekfouten binnen de tafel die kunnen leiden tot grote positionele fouten bovenop de tafel. Door interferometrische encodersystemen in te zetten en op het gevraagde punt te meten, kan het effect van deze foutbronnen geëlimineerd worden.

Voordelen van de toepassing

Belangrijkste eisenRenishaws oplossing
Abbé-fouten of tafelfouten eliminerenHet Renishaw RLE systeem kan met zijn compacte detectorkoppen eenvoudig dichtbij de tafel gemonteerd worden. Daardoor is direct meten op het gevraagde punt gemakkelijk te realiseren.
Warmtebron op afstandMeestal genereren laserbronnen veel warmte. Omdat de levering via glasvezel verloopt, kan de RLU laserunit van Renishaw gemonteerd worden op 3 of 6 meter afstand van het werkgebied, wat opwarming op een ongewenste plaats voorkomt.
Eenvoudig inbouwen en instellenInterferometersystemen zijn normaal gesproken moeilijk in te bouwen en in te stellen. Door een oplossing te ontwikkelen met glasvezel en compacte interferometrie en detectie, heeft Renishaw de meetprestaties van interferometerencoders gecombineerd met het installatiegemak van de gangbare optische encoders.

Ervaring

Renishaw heeft ruim 20 jaar ervaring met het integreren van encoderoplossingen op basis van interferometrie in uiteenlopende toepassingen, van de zware omstandigheden in fabrieken met CNC-machines tot en met de hoge prestatie-eisen van de halfgeleiderindustrie.

Deze ervaring komt voort uit samenwerking met toeleveranciers en tafelbouwers, waaruit hechte partnerschappen zijn ontstaan. Het assisteren bij de integratie van interferometrische encodersystemen in hun volgende generaties producten resulteerde in constante technologische vooruitgang.

RLE system on XY stage


Afbeelding met dank aan Aerotech.

Laserencoderproducten met groot bereik - Luchtvaart

Gegevens van de toepassing

De luchtvaartindustrie streeft ernaar om krappe toleranties te bereiken bij de grootste onderdelen. Met encoderoplossingen op interferometriebasis is het mogelijk gebleken dit te bereiken. Van grote CNC-machines waarop onder meer constructieve delen van vleugels en rompen gemaakt worden, moet de langste as vaak 30 m lang zijn of langer. Het Renishaw HS20 systeem kan met de RCU10 compensator een nauwkeurigheid van ±30 µm behalen over een as van 30 m.


Voordelen van de toepassing

Belangrijkste eisenRenishaws oplossing
Meten over grote afstanden in zware omstandighedenDe Renishaw HS20 laserkop kan meetafstanden aan tot 60 m. Met een aantoonbare historie van betrouwbare werking onder de meest uitdagende condities behoudt de HS20 zijn positie als marktleider op dit gebied.
Contactloos meetsysteemEen directe meting voorkomt de fouten die optreden bij terugkoppeling met kogelomloop- of tandheugelsystemen, zoals hysteresis, omkeerspeling, mechanische slijtage en cyclische fouten.
Compensatie voor product en machineconstructieHet RCU10 compensatiesysteem bevat ingebouwde modules die de thermische uitzetting en krimp van de machineconstructie en het product corrigeren, zodat de nauwkeurigheid tijdens lange bewerkingscycli behouden blijft.

Ervaring

Renishaw werkt samen met luchtvaartindustrieën en fabrikanten van grote CNC-machines in de hele wereld. Vandaag de dag is een aanzienlijk aantal laserinterferometersystemen van Renishaw geïnstalleerd en in gebruik.

Deze interferometrische systemen worden ingezet op de machines waarop luchtvaartspecifieke legeringen bewerkt worden, zoals de koolstofvezelcomposieten die in veel hedendaagse moderne vliegtuigen verwerkt zijn. Al deze toepassingen vereisen de krapste toleranties op de grootste onderdelen, wat met de interferometrische encodersystemen van Renishaw gemakkelijk te realiseren is.

HS20 application

Laserencoderproducten met groot bereik - CMM

Gegevens van de toepassing

Coördinatenmeetmachines (CMM's) maken normaliter gebruik van optische encoders, hoewel voor grotere CMM's waarvan nauwkeurigheid en herhaalbaarheid geëist wordt de keuze steeds vaker valt op laserinterferometerencoders.

CMM's hebben in de regel een portaalconstructie, en op grotere CMM's kan de scheefstandfout van dit portaal resulteren in grote positioneringsfouten. Met interferometerencoders bovenaan het portaal is het echter mogelijk om scheefstandfouten te elimineren.

Voordelen van de toepassing

Belangrijkste eisenRenishaws oplossing
Meten over een groot bereikDe Renishaw laserencoders kunnen over lange afstanden meten van naar keuze 60 m met de HS20 of 4 m met de RLE.
Meten op het gevraagde puntHet voornaamste voordeel van encodersystemen met laserinterferometrie is dat ze gemakkelijk op het gevraagde punt kunnen meten.
Eenvoudig installeren en uitlijnenRenishaw systemen hebben een bron van zichtbaar licht, die in combinatie met een simpel signaal van 0 tot 1 V uit de laserbron voor signaalsterkte garandeert dat instellen en uitlijnen eenvoudig is.

Ervaring

Renishaw heeft door samenwerking met toeleveranciers een aantal relaties ontwikkeld, waaruit configuraties voortkomen die de door klanten gespecificeerde meetprestaties kunnen bereiken. De basis van de metrologie begrijpen is essentieel voor het ontwikkelen van de juiste oplossing.

CMM inspection image

Laserencoderproducten met groot bereik - LCD

Gegevens van de toepassing

Naarmate de technologie binnen de LCD-sector zich verder ontwikkelt, doen de machines die deze producten maken en inspecteren dat ook. Grote beeldschermafmetingen met kleine details vragen om hogere prestaties van het meetsysteem op de machine. Laserencoders bieden een oplossing die aan deze vereisten kan voldoen.

Voordelen van de toepassing

Belangrijkste eisenRenishaws oplossing
Meten op het gevraagde puntVoor toepassingen met grote XY-tafels waarop inherente Abbé-fouten de precisie van de machine aantasten. Met Renishaw laserencodertoepassingen is het mogelijk om direct op het gevraagde punt te meten.
Beproefde technologie bij soortgelijke industrieRenishaw laserencoderoplossingen zijn binnen de halfgeleiderindustrie al jaren in gebruik en hebben daar aangetoond dat ze betrouwbaar zijn en hetzelfde prestatieniveau kunnen leveren als toen ze nieuw waren, zelfs na jaren van continu gebruik.
Hoogwaardige metingenMet hun analoge signaalperiodes van 158 of 316 nm zijn laserinterferometerencoders in staat om door interpolatie resoluties op picometerniveau te bieden.

Ervaring

Vanuit de ervaring die Renishaw opdeed bij het samenwerken met toeleveranciers en tafelbouwers worden inbouwtijden geminimaliseerd. Met onze ervaring en kennis op deze verschillende gebieden kunnen we snel het meest geschikte interferometrische encodersysteem identificeren voor uw toepassing.

© Getty images: LCD inspection