Producten om bewegingen in ultrahoog vacuüm te besturen
Op de beurs Vacuum Expo, op 3 en 4 november in het International Centre in het Britse Telford, gaat Renishaw zich vooral richten op encoders voor positieterugkoppeling die specifiek bestemd zijn voor gebruik in ultrahoog vacuüm.
26.10.10
Op de beurs is onder meer de nieuwe reeks TONiC™ UHV encoders te zien, met zowel lineaire als hoekencoders. Deze bieden zeer nauwkeurige lineaire meetschalen met optische referentiemarkeringen, betrouwbare positieterugkoppeling en ongekende degelijkheid, en zijn daarnaast snel en eenvoudig te installeren.
Alle Renishaw UHV encoders zijn opgebouwd uit voor vacuüm geschikte materialen en lijm met geringe ontgassing en een bewezen schone restgasanalyse (RGA). Ze weerstaan uitstooktemperaturen tot 120 °C en zijn geschikt voor veeleisende, wetenschappelijke en halfgeleider-gerelateerde toepassingen.
Net als de standaard TONiC leeskoppen bevatten de nieuwe versies voor ultrahoog vacuüm de recentste Renishaw filteroptiek, die nu een nog lager ruisniveau heeft. Verder is de geavanceerde optiek voorzien van dynamische signaalconditionering met automatisch gestuurde versterking (AGC) en afstelling (AOC). Dit resulteert in buitengewoon zuivere uitgangssignalen met een SDE van ±30 nm, een ruis (jitter) rond de 0,5 nm RMS en resoluties tot 1 nm.
Alle TONiC meetschalen hebben direct in het incrementele kanaal de unieke IN-TRAC™ optische referentiemarkering, waardoor elektronische fasering gemakkelijk verloopt via een druk op een knop. Dit kan dus ook op afstand gedaan worden. De IN-TRAC referentiemarkering heeft bovendien het voordeel dat de fasering in stand blijft bij alle snelheden en in het gehele werktemperatuurbereik.
Voor lineaire positieterugkoppeling met de TONiC UHV serie kunnen ontwerpers van bewegende systemen kiezen uit een variëteit aan meetschalen met bewezen schone RGA-spectra, zoals de RELM invar meetschalen die vrijwel niet uitzetten en over lengtes tot 1130 mm gegarandeerd binnen ±1 µm nauwkeurig zijn. Ook mogelijk zijn de zeer nauwkeurige RSLM meetschalen en RTLC flexibele meetschalen van roestvast staal, en de welbekende Renishaw RGSZ flexibele meetschaal.
De TONiC UHV hoekencoderleeskop voor roterende toepassingen is te gebruiken met de uiterst fijne Renishaw roterende meetschalen met IN-TRAC™ optische referentiemarkering, waaronder de zeer nauwkeurige RESM en REXM ringen. De RESM ringen zijn gemaakt uit één stuk roestvast staal van de 300-serie en hebben geen coating, zodat ze bestand zijn tegen sterke reinigings- en ontvettingsmiddelen. De ringen hebben een grote doorgang en een kleine dwarsdoorsnede om inbouw gemakkelijk te maken, en een gepatenteerde conusbevestiging voor een goede afstelling. Voor veeleisende rotatieassen zijn de uiterst nauwkeurige REXM ringen beschikbaar. Deze zijn ook te combineren met twee UHV leeskoppen en leveren dan een totale nauwkeurigheid die beter is dan ±1 boogseconde.
Lees meer over het volledige programma encoderproducten.
Nieuwsbrieven
Meld u aan om regelmatig een nieuwsbrief van Renishaw te ontvangen.