Navigatie overslaan

TONiC™ UHV incrementeel encodersysteem met RSLM lineaire schaal

Kenmerken

  • Leeskopgrootte: 35 x 13,5 x 10 mm
  • Resoluties tot 1 nm
  • Snelheid tot 10 m/s
  • Analoge of digitale uitgangen
  • Ultralage interpolatiefout (SDE): typisch <±30 nm
  • Optisch IN-TRAC™ referentiemarkering

Voordelen

  • Ultra Hoog Vacuüm (UHV)
  • Zeer nauwkeurige meetschaal
  • Supercompacte encoder met dynamische signaalconditionering voor een betere motion control
  • Diagnostische set als hulp bij uitdagende installaties en systeemoptimalisering
Transparante patch voor websitebanners

Wat is TONiC UHV?

TONiC UHV levert het supercompacte, non-contact encodersysteem van Renishaw aan Ultra-High Vacuum-toepassingen die klanten een betere motion control biedt.
TONiC biedt snelheden tot 10 m/s en, in combinatie met de Ti interface, resoluties tot 1 nm voor zowel lineaire als roterende toepassingen. TONiC systemen zijn snel en eenvoudig te installeren met een brede set-up -tolerantie en kalibratie met één druk op de knop. TONiCs dynamische signaalverwerking biedt verbeterde signaalstabiliteit met een ultralage interpolatiefout van typisch <± 30 nm voor superieure motion-control prestaties.

Wat is een RGLM schaal?

RSLM is een roestvrij stalen meetschaal met 20 µm pitch en verschillende IN-TRAC™ optische referentiemarkeringsopties, waaronder gelijkmatig verdeeld voor gebruik naar keuze of met één referentiemarkering in het midden of aan het einde van de schaal.
Hij is vergelijkbaar met fijne glazen schalen en biedt een totale nauwkeurigheid (inclusief helling en lineariteit) beter dan ± 4 µm over een lengte van 5 m. Het kan ook worden opgerold voor eenvoudige opslag.
Systeemontwerpers kunnen kiezen tussen speciaal samengestelde plakband of mechanische klemmen voor de montage. Beide montagemethodes zorgen voor onafhankelijke thermische uitzetting van het substraat.

Waarom dit encodersysteem kiezen?

Ultra Hoog Vacuüm (UHV)

TONiC UHV leeskoppen gebruiken de standaard uitstekende prestaties van TONiC en plaatsen het in een leeskop die is ontworpen en gebouwd met UHV compatibele materialen en processen waardoor ze geschikt zijn voor UHV omstandigheden tot 10 -10 Torr.
De reeks TONiC UHV encoders en accessoires is gemaakt van vacuüm-compatibele materialen en kleefstoffen voor lage ontgassing en bewezen schone restgas-analyse (RGA), waardoor ze geschikt zijn voor vele toepassingen, waaronder wafer transportsystemen/ testen, wetenschappelijke instrumenten, spectroscopie, vacuümcontrole-apparatuur en veel meer.

Combineert robuuste betrouwbaarheid met hogere nauwkeurigheid

Het TONiC RSLM systeem biedt het gemak, de robuustheid en het gebruiksgemak van een flexibele meetschaal maar biedt een hogere nauwkeurigheid dan glazen schalen waardoor het ideaal is voor lange, veeleisende assen.

Ultieme betrouwbaarheid en prestaties in een compact formaat

Voor ultieme betrouwbaarheid en consistente prestaties bevatten de TONiC leeskoppen filteroptica van de derde generatie, afgestemd op nog lagere ruis (jitter) en nu ook uitgebreid met dynamische signaalverwerking waaronder automatisch gestuurde versterking en afstelling. Deze combinatie - geheel ondergebracht in de leeskop - levert signalen van ongeëvenaarde zuiverheid met een ultralage interpolatiefout van slechts ±30 nm. Het resultaat is soepelere snelheidsregeling voor betere scanprestaties, verhoogde positionele stabiliteit wat weer de warmteontwikkeling in motoren binnen het vacuüm helpt te minimaliseren; essentiële parameters voor vacuümtoepassingen allemaal in een compacte leeskop.

Snellere en gemakkelijke installatie

Een set-up LED aan de leeskop geeft een visuele indicatie van het signaalformaat en een optionele diagnostische kit maakt remote controle van de systeemprestaties mogelijk als de leeskop in de machine is geïnstalleerd. Kalibratie van de referentiemarkering en incrementele signalen wordt gedaan met een druk op de knop zonder mechanische aanpassingen of extra diagnostische instrumenten. De IN-TRAC door de klant selecteerbare optische referentiemarkering wordt ingebed in de incrementele schaal voor compacte afmetingen en eenvoudige aanpassing. Dit zorgt voor een referentiemarkeringsoutput die bi-directioneel herhaalbaar is naar eenheid van de resolutie over het volledige bereik van de bedrijfstemperatuur en het toerental.

Mogelijkheden voor interface

TD (dual resolutie) interface

  • Selecteerbare dual-resolutie kwadratuuruitgang. Ti-interface (vierkant)
  • Ideaal voor toepassingen die een hoge snelheidsbeweging nodig hebben in combinatie met fijnere precisiebeweging.

DOP (dual output) interface

  • Biedt gelijktijdige digitale kwadratuur en 1Vpp-signalen.
  • Ontworpen voor toepassingen waarbij een of meer bewerkingen moeten worden gesynchroniseerd met een bewegingsas.TONiC Dual Output (DOP) interface

TONiC diagnostische kit

TONiC™ diagnoseset (software en hardware)

Met de TONiC diagnostische software is de installatie van TONiC encoders te optimaliseren en een snelle maar uitgebreide systeemkalibratie uit te voeren. De software wordt gebruikt in combinatie met de TONiC diagnostische hardware, die onder artikelnummer A-9411-0011 te koop is bij Renishaw. De hardware wordt op de pc aangesloten met een USB-kabel (inbegrepen in de set) of opgenomen in de elektronica van de klant.

Ontdek alles over de TONIC diagnoseset.

Technische specificaties

Meetstandaard

RSLM: zeer nauwkeurige roestvaststalen meetschaal

Ook leverbaar als RSLE met referentiemarkering aan het einde, en als RSLC met selecteerbare referentiemarkering

Leeskopgrootte (LxBxH)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Schaalpitch

20 μm

Thermische uitzettingscoëfficiënt

~10,8 μm/m°C

Nauwkeurigheidsgraad bij 20°C

±1,5 μm tot 1 m, ±2,25 μm tot 2 m, ±3 μm tot 3 m, ±4 μm tot 5 m, kalibratie herleidbaar naar internationale normering

Referentiemarkering

IN-TRACreferentiemarkering

Diverse positiekeuzes voor referentiemarkering; zie datablad voor meer details

Limietschakelaars

Dubbele of enkele limieten (selecteren bij bestelling)

Schaallengte

80 mm tot 5000 mm

Maximale snelheid

Analoog

Digitaal

(Zie datablad voor details)

Tot 10 m/s bij -3 dB

Tot 10 m/s

Interpolatiefout (SDE)

Normaal < ±30 nm

Dynamische signaalcontrole

Real-time signaalconditionering, waaronder automatisch gestuurde versterking (Auto Gain Control) en afstelling (Auto Offset Control) voor optimale prestaties tijdens de werking

Incrementele signalen

Analoog

Digitaal


1 Vpp (20 μm periode)

Resoluties van 5 µm tot 1 nm

Elektrische aansluiting

0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m en 10 m kabellengtes met mini-connector (directe verbinding met TONiC interface)

Voedingsspanning

5 V ±10%, <100 mA (analoog systeem), <200 mA (digitale systemen) (onafgesloten)

Stroomopname leeskop< 100 mA

Trilling (operationeel)

100 m/s2  max @ 55 Hz tot 2000 Hz

Shock (niet-operationeel)

1000 m/s2, 6 ms, ½ sinus

Werktemperatuur (systeem)

0 °C tot +70 °C

Reinigingstemperatuur (niet-operationeel)

120°C (Alleen leeskop en schaal)

Afdichting

Leeskop: IP20

Interface: IP20

Kabelconstructie

Vertind koper gevlochten enkel scherm, FEP kernisolatie

Zie de databladen voor alle gegevens.

 

Downloaden

Databladen

Software

  • TONiC diagnostische software versie 1.0 [en]

De werking

TONiC is voorzien van de derde generatie unieke filteroptica van Renishaw die het gemiddelde neemt van vele meetschaalperiodes en niet-periodieke signalen zoals vuil wegfiltert. Het ongeveer blokgolfvormige patroon wordt ook gefilterd om bij de detector een zuiver sinusoïde strooiveld te verkrijgen. Daar wordt een meervingerige structuur toegepast, die fijn genoeg is om fotostromen te produceren in de vorm van vier signalen met symmetrische fasen. Deze worden gecombineerd om gelijkstromen te verwijderen en sinus- en cosinussignalen als uitgang te leveren met hoge spectrale zuiverheid en kleine afwijkingen, terwijl de bandbreedte tot boven 500 kHz behouden blijft.

Volledig geïntegreerde geavanceerde dynamische signaalconditionering, Auto Gain, Auto Balance en Auto Offset Controls voor een ultralage interpolatiefout (SDE) van typisch <± 30 nm.

Deze evolutie van filteroptieken, gecombineerd met zorgvuldig geselecteerde elektronica, levert incrementele signalen met grote bandbreedte en een maximale snelheid van 10 m/s met de laagste positionele jitter (ruis) van alle encoders in zijn klasse. Interpolatie door CORDIC algoritme binnen de TONiC Ti interface, met fijne resolutieversies verder aangevuld met extra geluidsreducerende elektronica om jitter van slechts 0,5 nm RMS te bereiken.

TONiC™ optisch ontwerp met annotaties

De IN-TRAC referentiemarkering is volledig geïntegreerd in de incrementele meetschaal en wordt gedetecteerd door een gescheiden fotodetector in de leeskop. Zoals het diagram laat zien, is de gescheiden detector van de referentiemarkering direct ingebed in het midden van de lineaire fotodiode van het incrementele kanaal voor een grotere immuniteit tegen verdraaiingsdefasering. Hierdoor ontstaat als uitgangssignaal een referentiemarkering die in twee richtingen werkzaam is tot de hoogste resolutie op alle snelheden. Deze unieke regeling profiteert ook van een automatische kalibratieroutine die de referentiemarkering elektronisch faseert en de dynamische meetversterker optimaliseert