TONiC™ UHV incrementeel encodersysteem met REXM20 roterende (hoek) ring
Kenmerken
- Leeskopgrootte: 35 x 13,5 x 10 mm
- Resoluties tot 1 nm
- Snelheid tot 3.673 tpm
- Analoge of digitale uitgangen
- Ultralage interpolatiefout (SDE): typisch < ± 30 nm
- Optisch IN-TRAC™ referentiemarkering
Voordelen
- Ultra Hoog Vacuüm (UHV)
- Dikke ring met geïnstalleerde nauwkeurigheid van ± 1 boogseconde
- Supercompacte encoderleeskop met dynamische signaalconditionering voor een betere motion control
- Diagnostische set als hulp bij uitdagende installaties en systeemoptimalisering
Wat is TONiC UHV?
TONiC UHV brengt het compacte contactloze encodersysteem van Renishaw naar toepassingen met ultrahoog vacuüm, waar het klanten betere bewegingsbesturing levert.
De TONiC biedt snelheden tot 10 m/s en, indien gecombineerd met de Ti interface, resoluties tot slechts 1 nm voor zowel lineaire als roterende toepassingen. TONiC systemen zijn snel en eenvoudig te installeren met een brede set-up -tolerantie en kalibratie met één druk op de knop. De dynamische signaalverwerking van de TONiC levert een verbeterde signaalstabiliteit met een ultralage interpolatiefout van gewoonlijk < ± 30 nm die bijdraagt aan superieure besturing van bewegingen.
Wat is een REXM20 ring?
De REXM20 is een roestvaststalen ring uit één stuk, voorzien van een direct op de buitenrand aangebrachte incrementele schaalverdeling met 20 µm pitch en de IN-TRAC™ optische referentiemarkering. De grotere dwarsdoorsnede zorgt voor minder installatiefouten behalve excentriciteit wat gemakkelijk te corrigeren is met een DSi (Dual Signal Interface) en twee leeskoppen. Met ± 1 boogseconde aan totale geïnstalleerde nauwkeurigheid, geen koppelingsverliezen en een buitengewone herhaalbaarheid.
REXM20 is leverbaar in verschillende maten (Ø52 mm tot Ø417 mm) met een ruime binnendiameter voor flexibele integratie. De contactloze werking elimineert omkeerspeling, torsie van assen en andere mechanische hysteresisfouten die inherent zijn aan conventionele gesloten encoders.
Waarom dit encodersysteem kiezen?
Ultra Hoog Vacuüm (UHV)
TONiC UHV leeskoppen gebruiken de standaard uitstekende prestaties van TONiC en plaatsen het in een leeskop die is ontworpen en gebouwd met UHV compatibele materialen en processen waardoor ze geschikt zijn voor UHV omstandigheden tot 10 -10 Torr.
De reeks TONiC UHV encoders en accessoires is gemaakt van vacuüm-compatibele materialen en kleefstoffen voor lage ontgassing en bewezen schone restgas-analyse (RGA), waardoor ze geschikt zijn voor vele toepassingen, waaronder wafer transportsystemen/ testen, wetenschappelijke instrumenten, spectroscopie, vacuümcontrole-apparatuur en veel meer.
Ultrahoge geïnstalleerde nauwkeurigheid
Voor de ultieme hoekige metrologie biedt REXM20 met twee TONiC leeskoppen en een TONiC DSi (Dual Signal interface) uitzonderlijke herhaalbaarheid, nulkoppeling verliezen en beter dan ± 1 boogseconde totaal geïnstalleerde nauwkeurigheid. De REXM20 heeft echter een grotere dwarsdoorsnede om alle installatiefouten te minimaliseren behalve excentriciteit, die simpel te corrigeren is door de gecombineerde output van twee TONiC leeskoppen te gebruiken. Als de DSi de excentriciteit geëlimineerd heeft, blijven alleen de schaalverdeling- en de SDE-fouten over, die beide buitengewoon klein zijn.
Uitzonderlijke metrologie
De TONiC encoder beschikt over de in de praktijk beproefde filteroptieken en geavanceerde signaalverwerking van Renishaw. De technologieën van automatisch gestuurde versterking (AGC, Auto Gain Control) en afstelling (AOC, Auto Offset Control) verminderen de analoge signaalruis en digitale jitter binnen de leeskop.
TONiC encoders leveren een uitgangssignaal met een uitzonderlijk lage jitter van < ±0,5 nm RMS en een lage interpolatiefout (SDE) van < ±30 nm, waardoor systemen hun positie beter kunnen vasthouden en hun lineaire motoren minder warmte genereren. In toepassingen met hoge precisie maakt lage jitter ook een soepeler snelheidsregeling bij lage snelheden mogelijk.
Flexibele configuratie
De TONiC serie biedt een variëteit aan externe interfaces die te configureren zijn voor de snelheid en resolutie die de toepassing nodig heeft. Inbouwen op de tafel en de externe interface configureren kan laat gebeuren, dus één veelzijdige TONiC leeskop biedt veel keuze voor aanpassing op de eindgebruiker.
Een TONiC interface geeft keuze uit digitale, analoge of zowel digitale als analoge uitgangssignalen. De TD (duale resolutie) interface biedt selecteerbare uitgangen in twee resoluties. Ook is een DPI interface leverbaar voor toepassingen met breed drukwerk. Dankzij de flexibiliteit bij het configureren van TONiC encoders kunnen OEM's in vele toepassingen profiteren van superieure bewegingsbesturing en hogere capaciteit.
Mogelijkheden voor interface
TD (dual resolutie) interface
- Selecteerbare dual-resoluties kwadratuuruitgang.
- Ideaal voor toepassingen die een hoge snelheidsbeweging nodig hebben in combinatie met fijnere precisiebeweging.
DOP (dual output) interface
- Biedt gelijktijdige digitale kwadratuur en 1Vpp-signalen.
- Ontworpen voor toepassingen waarbij een of meer bewerkingen moeten worden gesynchroniseerd met een bewegingsas.
DSi (interface voor twee signalen)
- De DSi van Renishaw combineert de incrementele signalen van twee TONiC leeskoppen op een REXM20 ring (REXT20 ring voor toepassingen met gedeeltelijke rotatie) om het effect van lageruitloop te compenseren en oneven harmonische fouten waaronder excentriciteit te elimineren, wat een totaal geïnstalleerde nauwkeurigheid geeft van meestal ± 2,0 boogseconden.
TONiC diagnostische kit
Met de TONiC diagnostische software is de installatie van TONiC encoders te optimaliseren en een snelle maar uitgebreide systeemkalibratie uit te voeren. De software wordt gebruikt in combinatie met de TONiC diagnostische hardware, die onder artikelnummer A-9411-0011 te koop is bij Renishaw. De hardware wordt op de pc aangesloten met een USB-kabel (inbegrepen in de set) of opgenomen in de elektronica van de klant.
Ontdek alles over de TONIC diagnoseset.
Technische specificaties
Meetstandaard | REXM20: uiterst nauwkeurige roestvaststalen ring uit één stuk Ook leverbaar als REXT20 voor toepassingen met gedeeltelijke rotatie |
Leeskopgrootte (LxHxB) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Schaalpitch | 20 μm |
| Thermische uitzettingscoëfficiënt bij 20 °C | 15,5 ± 0,5 µm/m°C |
Buitendiameter ring | 52 mm tot 417 mm |
Lijnaantal | 8.192 tot 65.536 (afhankelijk van de ringgrootte) |
Referentiemarkering | REXM20: enkele IN-TRAC referentiemarkering REXT20: twee referentiemarkeringen voor toepassingen met gedeeltelijke rotatie |
Totale geïnstalleerde nauwkeurigheid (met 2 leeskoppen) | (≥ 100 mm diameter) ± 1 boogseconde (75 mm diameter) ± 1,5 boogseconden (≤ 57 mm diameter) ± 2 boogseconden |
Maximale snelheid Analoog Digitaal | (Zie datablad voor details) 3.673 tpm bij -3 dB (bij 52 mm REXM20) 3.673 omw (5 μm resolutie TONiC bij 52 mm REXM20) |
Interpolatiefout (SDE) | Typisch < ± 30 nm |
Dynamische signaalcontrole | Real-time signaalconditionering, waaronder automatisch gestuurde versterking (Auto Gain Control) en afstelling (Auto Offset Control) voor optimale prestaties tijdens de werking |
Incrementele signalen Analoog Digitaal | (Zie datablad voor details over hoekresoluties) 1 Vpp (20 μm periode) Resoluties van 5 µm tot 1 nm |
Elektrische aansluiting | 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m en 10 m kabellengtes met mini-connector (directe verbinding met TONiC interface) |
Voedingsspanning | 5 V ± 10%, < 100 mA (analoog systeem), < 200 mA (digitale systemen) (onafgesloten) |
| Stroomopname leeskop | < 100 mA |
Trilling (operationeel) | 100 m/s2 max @ 55 Hz tot 2000 Hz |
Schok (niet-operationeel) | 1 000 m/s2, 6 ms, ½ sinus |
Werktemperatuur (systeem) | 0 °C tot +70 °C |
Reinigingstemperatuur (niet-operationeel) | 120°C (alleen leeskop en schaal) |
Afdichting | Leeskop: IP20 Interface: IP20 |
Kabelconstructie | Vertind koper gevlochten enkel scherm, FEP kernisolatie |
Zie de databladen voor alle gegevens.