Navigatie overslaan

RLD10 differentiële interferometer

Differentiële interferometers maken metingen t.o.v. gedefinieerde referentiewaarden mogelijk.

De differentiële kop is voorzien van een uniek optisch ontwerp om een lage SDE-waarde te realiseren. Geïntegreerde bundelrichters maken bij het installeren helling- en verdraaiingcorrecties mogelijk die de uitlijning verbeteren (alleen geschikt voor toepassingen met vlakke spiegels).

De RLD10-X3-DI detectorkop kan dankzij drie pennen simpel gemonteerd worden tegen de buitenwand van een procesruimte. U hoeft niet de ruimte in om de detectorkop uit te lijnen, want met de ingebouwde bundelrichters kunt u de helling en verdraaiing van de referentie- en meetbundel onafhankelijk instellen. Het bevestigingssysteem is zodanig uitgevoerd dat verwijderen en terugplaatsen van de detectorkop minimaal effect heeft op de uitlijning.

Kenmerken en voordelen

  • Buitengewone metrologie - frequentiestabiliteit in ppb en uiterst lage cyclische fout leveren uitgangssignalen met resoluties tot 38,6 pm.
  • Differentiële configuraties - meet de relatieve positie van tafel ten opzichte van kolom, waardoor gebruikelijke fouten door bijvoorbeeld bewegende kamerwanden als gevolg van wisselende omgevingscondities worden voorkomen.
  • Snelle uitlijning - simpele uitlijning vanaf de buitenkant van de vacuümkamer met behulp van vier geïntegreerde bundelrichters om de toleranties in de kamer- en spiegelbevestiging te verhelpen.

Specificatie 

Verplaatsing langs as0 m - 1 m
Resolutie (geconfigureerd met RLU)Analoge kwadratuur = λ/4 (158 nm)
Digitale kwadratuur = 10 nm
RPI20 resolutie = 38,6 pm

Niet-lineariteitsfout* van het systeem (SDE)

*exclusief interface

< ±1 nm onder 50 mm/sec met > 70% signaalsterkte
< ±6 nm bij 1 m/sec met > 50% signaalsterkte
Maximale snelheidTot 1 m/s
De differentiële interferometer detectorkop wordt vaak geconfigureerd met de Renishaw RLU20. De hoge stabiliteit van de RLU20 laserbron in combinatie met de prestaties van de differentiële interferometerkop vormt de ideale oplossing voor metingen in vacuümkamers en andere strikt gecontroleerde omgevingen.

Productinformatie