Navigatie overslaan

Optische encoders voor ultrahoog vacuüm (UHV)

Kenmerken

  • Opgebouwd uit voor vacuüm geschikte materialen en lijm met geringe ontgassing
  • Bewezen schone RGA
  • Uitstooktemperatuur tot 120 °C
  • Contactloos open optisch systeem voor hoge snelheden en betrouwbare werking zonder wrijving of slijtage
  • Geen ongeventileerde lege ruimte
  • Serie zeer nauwkeurige lineaire en roterende meetschalen

Er zijn vele industriële processen waarin de aanwezigheid van aanzienlijke hoeveelheden lucht of ander gas nadelig zou zijn voor het gereed product, en die dus moeten gebeuren in een omgeving die leeggemaakt is tot restdrukken van zeer uitdagend niveau. Indien in deze processen bewegingsbesturing plaatsvindt, zijn encodersystemen nodig die geschikt zijn voor vacuüm.

Alle producten in de reeks Renishaw encoders voor ultrahoog vacuüm (UHV) zijn gebouwd voor een variëteit aan toepassingen in de wetenschap of in de halfgeleider- en andere industrie met vacuümdrukken tot 10-10 torr. De fundamentele werkingsprincipes zijn hetzelfde als in onze equivalente atmosferische producten, maar de UHV-varianten zijn ontworpen zonder ongeventileerde lege ruimtes en speciaal opgebouwd uit schone met vacuüm compatibele materialen en lijmen. De geschiktheid van de producten voor gebruik in UHV-omgevingen wordt getoetst door een speciaal onafhankelijk testbureau, dat onder meer een spectrumtest voor restgasanalyse (RGA) uitvoert (beschikbaar op verzoek).

Logo geschikt voor UHV

De serie omvat versies van de absolute RESOLUTE™ en incrementele TONiC™ en RGH25F leeskoppen, en een variëteit aan lineaire en roterende meetschalen met superieure prestaties en een hoge betrouwbaarheid.

Absolute encoders voor UHV

De RESOLUTE UHV is het eerste werkelijk absolute optische encodersysteem voor UHV en heeft dezelfde werkingsprincipes als de rest van de RESOLUTE serie. Het is een encoder met de prestaties van fijne pitches en een groot aantal seriële protocollen, gecombineerd met ruime insteltoleranties en ingebouwde veiligheid. De RESOLUTE bepaalt onmiddellijk na inschakeling de absolute positie, zodat hij ongecontroleerde bewegingen elimineert en volledige bediening van de assen gemakkelijker maakt doordat terugkeren voor een referentie of opstartroutines overbodig zijn. Met zijn 1 nm resolutie, ±40 nm interpolatiefout en <10 nm RMS ruis levert de RESOLUTE zijn gebruikers ook een aanmerkelijke verbetering van de prestaties.

Incrementele encoders voor UHV

De incrementele leeskoppen in de reeks bevatten dynamische signaalconditionering, bestaande uit automatisch gestuurde versterking (AGC) voor solide en betrouwbare signalen gedurende een lang machineleven en automatisch gestuurde afstelling (AOC) voor een nog betere signaalkwaliteit. De AOC en de lage positionele ruis van de encoder hebben ook als voordeel dat ze de snelheidsrimpel bij direct drive systemen verlagen, en zo meehelpen om de warmteopbouw van motoren in het vacuüm te minimaliseren.

Een hoge nauwkeurigheid is verzekerd met de lineaire meetschalen, waaronder naar keuze zelfklevende flexibele en roestvaststalen of ZeroMet starre meetschalen. De keuze aan hoekencoders omvat onder meer de platte RESR / RESM en de uitermate nauwkeurige REXM ring met een geïnstalleerde nauwkeurigheid die gegarandeerd beter is dan ±1 boogseconde.