Differentiële interferometer

De detectorkop van de RLD10-X3-DI differentiële interferometer meet de relatieve verplaatsing van een bewegende meetspiegel ten opzichte van een vaste referentiespiegel. De RLD10-X3-DI detectorkop is zeer geschikt voor vacuüm en geconditioneerde omstandigheden, en kan dankzij drie pennen simpel gemonteerd worden tegen de buitenwand van een procesruimte. U hoeft niet de ruimte in om de detectorkop uit te lijnen, want met de ingebouwde bundelrichters kunt u de helling en verdraaiing van de referentie- en meetbundel onafhankelijk instellen. Het bevestigingssysteem is zodanig uitgevoerd dat verwijderen en terugplaatsen van de detectorkop minimaal effect heeft op de uitlijning.

Specificatie

Cijfers zijn gebaseerd op een RLD10-X3-DI detectorkop met een RLU20 lasereenheid

Kenmerken en voordelen

• Buitengewone metrologie
  Frequentiestabiliteit in ppb en zeer lage cyclusfout leveren uitgangssignalen met resoluties tot 38,6 pm.
• Differentiële configuratie
  Meet de relatieve positie van tafel ten opzichte van kolom of van werkstuk ten opzichte van gereedschap, zonder gebruikelijke fouten door bijvoorbeeld wandbewegingen bij wisselende omgevingscondities.
• Snel uitlijnen
  Eenvoudig uitlijnen buiten de procesruimte met vier ingebouwde bundelrichters. Via de ±1° horizontale en verticale verstelling van de meet- en de referentiebundel werkt u toleranties in de ruimte en de spiegelmontage weg.

Meld ons uw belangstelling voor onze serie laserencoders.